三氟化氮是一种无色、无味、无毒且不可燃的气体，在半导体加工，太阳能电池制造和液晶显示器制造中得到广泛应用。NF₃是一种三角锥型分子，键角102°，沸点－129℃；可在铜的催化作用下由F₂和过量NH₃反应得到。