在芯片制造过程中，离子注入是其中一道重要的工序。离子注入工作原理的示意图如图所示。静止于A处的离子，经电压为的加【参考答案】

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在芯片制造过程中，离子注入是其中一道重要的工序。离子注入工作原理的示意图如图所示。静止于A处的离子，经电压为 $\text{[math]}$ 的加速电场加速后，沿图中半径为 $\text{[math]}$ 的虚线通过 $\text{[math]}$ 圆弧形静电分析器（静电分析器通道内有均匀辐向分布的电场）后，从 $\text{[math]}$ 点沿直径 $\text{[math]}$ 方向进入半径也为 $\text{[math]}$ 的圆柱形、方向垂直于纸面向外的匀强磁场区域，离子经磁场偏转，最后打在竖直放置的硅片上的M 点（图中未画出）时，其速度方向与硅片所成锐角为60^°。已知离子的质量为 $\text{[math]}$ ，电荷量为 $\text{[math]}$ ，不计重力。求：

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