三氯氢硅SiHCl₃是制备硅烷、多晶硅的重要原料。对于反应2SiHCl₃(g) SiH₂Cl₂(g)+SiCl₄(g)采用大孔弱碱性阴离子交换树脂催化剂，在323 K和343 K时SiHCl₃的转化率随时间变化的结果如图所示。