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在微纳加工技术中,目前广泛使用的是基于光刻工艺对材料或原料进行微细加工,制作成所需的微纳结构或器件。在这一过程中,光刻胶为非常关键的材料。西湖大学仇旻研究团队把光刻胶替换成冰,改称之为“冰胶”,并将使用“冰胶”替代光刻胶完成微纳加工的电子束光刻工艺改称为“冰刻”。日前,他们在《纳米快报》《纳米尺度》《应用表面科学》等期刊上连续发表一系列研究成果,对小到微米甚至纳米级别的“冰雕”游刃有余,从精确定位到精准控制雕刻力度,再到以“冰雕”为模具制作结构、加工器件,一套以“原料进、成品出”为目标的“冰刻2.0”三维微纳加工系统雏形初现。

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