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试题详情
中国芯片蚀刻技术国际领先。NF3进行硅芯片蚀刻时反应的微观示意图如下:

 

下列说法正确的是(  )

A、从微观构成看:四种物质均由分子构成
B、从守恒关系看:反应前后原子的种类、数目不变
C、从价态变化看:反应前后各元素的化合价不变
D、从表示方法看:反应的化学方程式为NF3+SiSiF4+N2
知识点
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