中国芯片蚀刻技术国际领先。用NF₃蚀刻硅芯片，产物均为气体，在蚀刻物表面不留任何残留物。该反应微观过程如图所示，下列说法正确的是（  ）

A、反应生成的丙和丁分子数之比为3：2

B、反应前后各元素的化合价均不变

C、反应过程中原子、分子种类没有变化

D、物质丁的化学性质活泼