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中国芯片蚀刻技术国际领先。NF
3
进行硅芯片蚀刻时的产物均为气体,在蚀刻物表面不留任何残留物。该反应微观示意图如图,下列说法正确的是( )
A、反应前后原子数目发生改变
B、物质丁由原子直接构成
C、丙分子中Si、F原子个数比为1:4
D、参加反应的甲和乙的质量之比为71:28
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