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半导体生产中常需要控制掺杂,以保证控制电阻率,三氯化磷(PCl3)中一种重要的掺杂剂.实验室要用黄磷(白磷)与干燥的Cl2模拟工业生产制取PCl3 , 装置如下图所示:(部分夹持装置略去)

已知黄磷与少量Cl2反应生成PCl3 , 与过量Cl2反应生成PCl5和HCl,遇O2会生成POCl3 , POCl3溶于PCl3 , PCl3、POCl3的熔沸点见下表:

物质

熔点/℃

沸点/℃

PCl3

﹣112

75.5

PCl5

2

105.3

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