硅（Si）是太阳能电池和电脑芯片不可缺少的材料．利用石英砂（主要成分为SiO₂）生产高纯硅（Si）的流程图如下（整个制备过程必须达到无水、无氧气）．

（提示：Si+3HCl  SiHCl₃+H₂↑）

根据以上信息判断，下列相关说法错误的是（   ）

A、三氯硅烷（SiHCl₃）是由三种元素组成的物质

B、在H₂和SiHCl₃反应的过程中若混入O₂ ， 可能引起爆炸

C、以上生成高纯硅的流程中，可循环使用的物质只有HCl

D、Si+3HCl  SiHCl₃+H₂↑反应中硅元素的化合价未发生改变