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光刻机是芯片制造的核心设备之一,其工作原理如图所示。下列说法正确的是( )
①缩图透镜是凸透镜,晶圆相当于光屏;
②掩膜在晶圆上的像是正立缩小的虚像;
③要想晶圆上的像变小,需将掩膜和晶圆向上移动;
④将掩膜和晶圆向下移动相同距离,晶圆上还能成清晰的像。
A、①③
B、②④
C、①④
D、②③
知识点
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