高纯硅是制做电子集成电路的基础材料。工业上制备高纯硅的化学反应原理为：① ② ③ 反应①制得粗硅，通过反应②③进一步得到高纯硅。下列有关说法错误的是（   ）

A、反应①②③均为置换反应

B、SiO₂中Si的化合价为+4价

C、SiHCl₃中硅、氯元素的质量比为 1∶3

D、SiHCl₃由氢、硅、氯三种元素组成