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3月15日，全球最大规模的半导体年度盛会，中国国际半导体展在上海拉开帷幕，北京东方晶源公司如约亮相此次展会。在这次展会上，东方晶源公司推出了自主研发的硬件产品纳米级电子束缺陷检测装备（EBI）、关键尺寸量测装备（CD-SEM）和计算光刻软件产品PanGen等三款拳头产品，还推出了前瞻性创新产品——微电子设计与制造智能良率优化平台HPOTM，为行业良率管理实现质的飞跃提出了新的解决路径。尤其值得一提的是，上述产品均为东方晶源自主研发，突破了多项“卡脖子”的技术难题，得到了国内外客户的高度认可。不仅填补了国内市场空白，在国际市场也颇具竞争力，展现出我国设备厂商在该领域的高水准。