制备硅半导体材料必须先得到高纯硅。三氯甲硅烷(SiHCl₃)还原法是当前制备高纯硅的主要方法。生产过程示意图如下。下列判断中错误的是（   ）

A、①③是置换反应，②是化合反应

B、①每生成28g硅，转移4mol电子

C、反应过程中H₂和HCl均可循环利用

D、SiO₂的硬度大，熔点高