Ag催化刻蚀Si晶片的反应原理示意图如下，刻蚀溶液有一定浓度的HF和H2O2混合而成，刻蚀时间为，由Ag薄膜【参考答案】

试题详情

Ag催化刻蚀Si晶片的反应原理示意图如下，刻蚀溶液有一定浓度的HF和H₂O₂混合而成，刻蚀时间为 $\text{[math]}$ ，由Ag薄膜覆盖的硅晶片部分逐渐被刻蚀掉，剩余部分就形成了硅纳米线。下列说法错误的是（）

A、Ag薄膜附近随着反应的进行，pH逐渐减小

B、Si极发生的反应为 $\text{[math]}$ ， $\text{[math]}$

C、该刻蚀的总反应可表示为 $\text{[math]}$

D、该刻蚀过程的是由微小的Si、Ag、HF和H₂O₂的原电池组成

知识点

参考答案