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在芯片制造过程中,离子注入是其中一道重要的工序。如图所示是离子注入工作原理的示意图。静止于A处的离子,经电压为U的加速电场加速后,沿图中半径为R的虚线通过
圆弧形静电分析器(静电分析器通道内有均匀辐向分布的电场)后,从P点沿竖直方向进入半径为r的圆形匀强磁场区域,磁场方向垂直于纸面向外。该圆形磁场区域的直径PQ与竖直方向夹角为15°,经磁场偏转,离子最后垂直打在竖直放置的硅片上。已知离子的质量为m、电荷量为q,不计重力。求:
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河北省唐山市2021-2022学年高二上学期物理期末考试试卷
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