氮化硅(Si3N4)陶瓷可代替金属制造发动机的耐热部件。工业上用气相沉淀法制备氨化硅：3SiCl4(g)+2N2【参考答案】

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氮化硅(Si₃N₄)陶瓷可代替金属制造发动机的耐热部件。工业上用气相沉淀法制备氨化硅：3SiCl₄(g)+2N₂(g)+6H₂(g) $\text{[math]}$ Si₃N₄(s) +12HCl(g)。请回答：

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