晶体硅材料是最主要的光伏材料，随当前信息工程的发展，硅主要用于微电子技术。工业上将粗硅氯化、精馏后得到SiCl₄和SiHCl₃的混合物然后用H₂还原得到高纯硅。还原过程中发生的主要反应为：

i.SiCl₄(g)+2H₂(g) Si(s)+4HCl(g) △H₁=akJ/mol

ii.SiHCl₃(g)+H₂(g) Si(s)+3HCl(g) △H₂=bkJ/mol

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