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试题详情
物理气相沉积镀膜是芯片制作的关键环节之一,如图是该设备的平面结构简图。初速度不计的氩离子(比荷)经电压的电场加速后,从C点水平向右进入竖直向下的场强为的匀强电场,恰好打到电场、磁场的竖直分界线I最下方M点(未进入磁场)并被位于该处的金属靶材全部吸收,两点的水平距离为。靶材溅射出的部分金属离子(比荷)沿各个方向进入两匀强磁场区域,速度大小均为 , 并沉积在固定基底上,M点到基底的距离为。基底与水平方向夹角为 , 大小相等、方向相反(均垂直纸面)的两磁场的分界线Ⅱ过M点且与基底垂直。(两种离子均带正电,忽略重力及离子间相互作用力。)求:

知识点
参考答案
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