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试题详情
光刻机利用光源发出的紫外线,将精细图投影在硅片上,再经技术处理制成芯片。为提高光刻机投影精细图的能力,在光刻胶和投影物镜之间填充液体,提高分辨率,如图所示。若浸没液体的折射率为1.65,当不加液体时光刻胶的曝光波长为193nm,则加上液体后(  )

A、紫外线进入液体后波长变短,光子能量增加
B、传播相等的距离,在液体中所需的时间变为原来的
C、紫外线在液体中比在空气中更容易发生衍射,能提高分辨率
D、在液体中的曝光波长约为117nm
知识点
参考答案
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