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中国芯片蚀刻技术国际领先。NF
3
进行硅芯片蚀刻时的产物均为气体,在蚀刻物表面不留任何残留物。该反应的微观示意图如下,下列说法错误的是( )
A、该反应前后原子的数目不变
B、丙中硅、氟元素的质量比为7:19
C、空气中物质丁的体积分数约为78%
D、该反应后生成的丙和丁的微粒数之比为1:1
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