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中国芯片蚀刻技术国际领先。NF
3
进行硅芯片蚀刻时的产物均为气体,在蚀刻物表面不留任何残留物。该反应微观示意图如下,下列说法正确的是( )
A、上述四种物质均由分子构成
B、反应前后分子、原子的种类和数目均不变
C、反应生成的丙和丁微粒数之比为3:2
D、空气中物质丁的质量分数为78%
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