氟硅酸（H₂SiF₆）溶于水形成无色透明溶液，带有强烈的刺激性气味。可用于电镀、木材防腐等，常温下，K₂SiF₆和BaSiF₆是不溶于水的白色固体，Na₂SiF₆和FeSiF₆均易溶于水形成溶液。