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试题详情
在芯片制造过程中,离子注入是芯片制造重要的工序。图甲是我国自主研发的离子注入机,图乙是简化的注入过程原理图。静止于A处的离子,经电压为U的电场加速后,沿图中半径为R的圆弧虚线通过磁分析器,然后从M点垂直CD进入矩形CDQS区域内的有界匀强电场中,最后恰好打在Q点。已知磁分析器截面是四分之一圆环,内部为匀强磁场,方向垂直纸面向里;矩形CDQS区域内匀强电场方向水平向左,DQ=d,MD=2d。整个装置处于真空中,离子的质量为m、电荷量为q,重力不计。求:

甲                                                乙

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