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试题详情
光刻机以紫外线为信息载体,通过凸透镜将画在模板上的电路图投影到微小的半导体材料——硅晶板上,利用曝光反应进行缩刻,原理如图所示。下列说法正确的是

A、以紫外线为信息载体,是利用了其热效应
B、实验人员可以一直照射紫外线,有助于健康
C、要使硅晶板上成像,模板应放置在凸透镜的两倍焦距以内
D、模板远离透镜,硅晶板靠近透镜会使硅晶板上的电路图更小
知识点
参考答案
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