①高温下用碳还原二氧化硅制得粗硅;
②粗硅与干燥HCl气体反应制得;
③与过量在反应制得纯硅。已知能与强烈反应,在空气中易自燃.用与过量反应制备纯硅的装置如下(热源及夹持装置略去):
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